ინტეგრალური მიკროსქემების შექმნის ტექნოლოგიური პროცესების მოდელირება / ინგა კვანტალიანი // ინტელექტი : საერთაშორისო პერიოდული სამეცნიერო ჟურნალი / საქართველოს მეცნიერებისა და საზოგადოების განვითარების ფონდი "ინტელექტი"; თელავის სახელმწიფო უნივერსიტეტი, ქუთაისის სახელმწიფო უნივერსიტეტი. - თბილისი, 2010. - ISSN 1512-0333. - აგვისტო. - N2(37). - გვ.15-18. - ფიზიკა-მათემატიკის მეცნიერებანი. - რეზ. ქართ., რუს. და ინგლ. ენ.. - ბიბლიოგრ. გვ.18[MFN: 69043]

UDC:  621.3.049.77

თემატიკა:  მიკროელექტრონიკა; ინტეგრალური მიკროსქმები.

საკვანძო სიტყვები:  იონური ლეგირება; ნახევარგამტარული სტრუქტურები.