Пленки нестехиометрических оксинитродов кремния и германия полученные реактивным распылением в плазме гидразина : Автореф... канд. техн. наук 05.17.16 / Джишиашвили Давид Александрович ; Науч. рук. Багратишвили Г.Д. ; АНУССР. Ин-т полупроводников. - Киев, 1983. - 19 с.. - Библиогр.: с. 18-19[MFN: 63481]

UDC: 621.382

• Багратишвили, Г.Д. (Науч. рук.); 
• АНУССР. Ин-т полупроводников; 

TA 6.576 - საარქივო ფონდი