Разработка и исследование технологии низкотемпературного синтеза диэлектрических слоев в проточном реакторе пониженного давления с плазменной активацией безэлектродным ВЧ разрядом : Автореф... канд. техн. наук 05.27.06 / Кучаидзе Геннадий Вахтанговтч ; Науч. рук. Герасимович Ч.В. ; Каунас. политех. ин-т. - Каунас, 1988. - 26 c.. - Библиогр.: с. 24-25[MFN: 66296]
UDC: 621.3
• Герасимович, Ч.В. (Науч. рук.); • Каунас. политех. ин-т;
TA 7.355 - საარქივო ფონდი