ფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში : ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 / სტუ. - თბ., 2006. - 34გვ.. - ტექსტი ქართ. და რუს. ენ.[MFN: 12599]
UDC: 621.383.434 + 775
KA 3.005 - წიგნთსაცავიFA 4.741 - საარქივო ფონდი