Sub-Half-Micron lithography for ULSIs / ed. by Katsumi Suzuki, Shinji Matsui a. Yukinori Ochiai. - Cambridge : Cambridge Univ. press, [c.2000]. - xvii, 323 p. : tab. ; 25 cm.см.. - ბიბლიოგრ. თავების შემდეგ. - ISBN 0-521-57080-8[MFN: 39493]

UDC: 621.3.049.771 + 621.3.049.711.15 + 621.3.049.774 + 621.3.049.75 + 621.315.592 + 763

• Suzuki, Katsumi (ed.);  Matsui, Shinji (ed.);  Ochiai, Yukinori (ed.); 

Subjects:
- ინტეგრალური სქემები; ულტრა დიდი ინტეგრალური სქემები; მიკროლითოგრაფია; ნაბეჭდი სქემები;

IX 1.346 = 621.3.049.771/S-91 - Rare Book Division