Осаждение плёнок оксида алюминия в плазме высокочастотного газового разряда : Дисс... канд. физ.-мат. наук 01.04.10 / Науч. руков.: Неустроев С. А. ; Моск. ин-т электр. техн., НПК "Электронная техника", ТГУ. - Тб., 1997. - 159с. : рис. ; 29смсм.. - Библиогр.: с.149-159. - [Б. ц.][MFN: 25986]

UDC: 533.9 + 539.11

Subjects:
- Физика полупроводников и диэлектриков;

D 2.473 - Depositary Georgian Publications