Внутренние механические напряжения в тонких плёнках хрома и алюминия и контроль качества плёнок : Дисс... канд. техн. наук 05.05.03 / Науч. рук.: Г. П. Жигальский ; Моск. Ин-т Электр. Техники, ГТУ. - Тб., 1993. - 180с. : рис. ; 29смсм.. - Библиогр.: с. 162-180. - Прилож.: с. 154-161. - [Б. ц.][MFN: 25598]

UDC: 539.216.2

Subjects:
- Материаловедение;

D 2.079 - Depositary Georgian Publications