Формирование микрорельефа фотопроводящих пленок методом ионного травления / З. В. Беришвили, Э. Б. Каганович, С. В. Свечников // Физика/Труды Тбилисского университета, т. 247 . - 1984. - стр.45-51. - Рез. груз., англ.[MFN: 269319]

UDC:  53(060.55)

• Каганович, Э. Б. и др.; 

Bibliography:  стр. 48

Headings of Chronicle:  Физико-математические науки; Физика.